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常見曝光機(jī)舉例
目錄：常見問題點(diǎn)擊率：
發(fā)布時(shí)間：2016-11-15 10:05:14
紫外燈電源系統(tǒng)
操作控制器
350W紫外燈
MDA-400M參數(shù)：
晶片臺(tái)
基底尺寸 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 最大至4英寸；可選最大至6英寸；
托盤 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 最大至4英寸；可選最大至6英寸；
活動(dòng)范圍
X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
對(duì)準(zhǔn)精度 1um
擠入補(bǔ)償 Air bearing型
Z軸滑動(dòng) 手動(dòng)
真空泵 無油真空泵
掩膜臺(tái)
掩膜夾具類型 真空吸附和機(jī)械夾取
紫外光源
紫外燈 350 瓦
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
曝光模式 壓縮/真空/相鄰
曝光時(shí)間控制 可編程控制型
曝光定時(shí)器 1 ~ 999.9 秒
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